GB/T 14139-1993标准基本信息
标准名称：硅外延片
标准号：GB/T 14139-1993
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
废止日期：2010-06-01
中国标准分类：H81
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
上海第二冶炼厂。
GB/T 14139-1993预览图：
