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GB/T 14264-1993 半导体材料术语

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 14264-1993标准基本信息

标准名称:半导体材料术语

标准号:GB/T 14264-1993

发布日期:1993-03-20

实施日期:1993-12-01

被代替日期:2010-06-01

中国标准分类:H80

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《半导体材料术语》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

中国有色金属总公司标准所。

GB/T 14264-1993预览图:

GB/T 14264-1993 半导体材料术语

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