GB/T 14264-1993标准基本信息
标准名称：半导体材料术语
标准号：GB/T 14264-1993
发布日期：1993-03-20
实施日期：1993-12-01
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类：H80
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
中国有色金属总公司标准所。
GB/T 14264-1993预览图：
