SJ/T 11494-2015标准基本信息
标准名称:硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
标准号:SJ/T 11494-2015
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
制修订:制定
中国标准分类:H82
国际标准分类:29.045
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:无
标准类别:方法标准
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人:李静、何秀坤、刘兵 等
SJ/T 11494-2015预览图: