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SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

下载格式:pdf标准分类:行业标准

SJ/T 11494-2015标准基本信息

标准名称:硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

标准号:SJ/T 11494-2015

发布日期:2015-04-30

实施日期:2015-10-01

制修订:制定

中国标准分类:H82

国际标准分类:29.045

技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:无

标准类别:方法标准

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等

起草人:李静、何秀坤、刘兵 等

SJ/T 11494-2015预览图:

SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法

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