SJ 21199-2016标准基本信息
标准名称：卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法
标准号：SJ 21199-2016
英文名称：Technological verification procedures for horizontal plasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门：科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
SJ 21199-2016预览图：
SJ 21199-2016 卧式等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备工艺验证方法
下载格式：pdf标准分类：行业标准
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