SJ 21262-2018标准基本信息
标准名称:MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
标准号:SJ 21262-2018
英文名称:Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布部门:科技工业局
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
SJ 21262-2018预览图:
SJ 21262-2018标准基本信息
标准名称:MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求
标准号:SJ 21262-2018
英文名称:Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer
发布部门:科技工业局
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
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