YS/T 839-2012标准基本信息
标准名称：硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
标准号：YS/T 839-2012
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
制修订：制定
中国标准分类：H68
国际标准分类：77.120.99
技术归口：全国有色金属标准化中心
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：无
起草单位：中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司等股份有限公司
起草人：高英、武斌 等
YS/T 839-2012预览图：
YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法
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