半导体材料术语（GB/T 14264-2009）已被代替
本标准规定了半导体材料及其生长工艺、加工、晶体缺陷和表面沾污等方面的主要术语和定义。本标准适用于元素和化合物半导体材料。读者对象：半导体材料生产、使用相关人员。
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
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