GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

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电子工业用气体氩（GB/T 16945-2009）

本标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。分子式：Ar。相对分子质量：39.948(按2005年国际相对原子质量)。读者对象：半导体材料和设备标准、技术、管理、营销等相关人员。