GB/T 43313-2023 碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法

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碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试共焦点微分干涉法（GB/T 43313-2023）

本文件规定了4H碳化硅抛光片表面质量和微管密度的共焦点微分干涉测试方法。本文件适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm、150mm、200mm，厚度范围为300μm～1000μm碳化硅抛光片的表面质量和微管密度的测试。