微机电系统（MEMS）工艺基础与应用邱成军，曹姗姗，卜丹著 (2016版)

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内容简介《微机电系统（MEMS）工艺基础与应用》着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS工艺。主要介绍MEMS的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS实现工艺，主要有刻蚀（包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀），表面微加工工艺的基本原理及其常用材料，硅片键合技术的各种方法、工艺过程及其各自的影响因素，LIGA技术的基本工艺流程和各部分工艺的实现方法；在工艺基础上介绍传感器和执行器的……