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GB/T 42895-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

GB/T 42895-2023标准基本信息

标准名称:微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

标准号:GB/T 42895-2023

发布日期:2023-08-06

实施日期:2023-12-01

标准类别:方法

中国标准分类号:L59

国际标准分类号:31 电子学,31.200 集成电路、微电子学

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准化管理委员会

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司、无锡韦感半导体有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、南京飞恩微电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、上海临港新片区跨境数据科技有限公司。

主要起草人 张大成 、杨芳 、李根梓 、顾枫 、刘鹏 、高程武 、于志恒 、王旭峰 、李凤阳 、华璇卿 、陈艺 、刘若冰 、张彦秀 、万蔡辛 、武斌 、曹万 、张宾 、张启心 。

GB/T 42895-2023预览图:

GB/T 42895-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

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