T/ICMTIA 1-2019标准基本信息
标准名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
标准编号：T/ICMTIA 1—2019
英文标题：The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
国际标准分类号：71.100.20工业气体
中国标准分类号：G 04
国民经济分类：C266 专用化学产品制造
发布日期：2019年04月17日
实施日期：2019年10月10日
起草人：郑秋艳，李翔宇，丁成，孙江涛，计燕秋，孙建。
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。
范围：本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。
T/ICMTIA 1-2019预览图：
