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T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/CESA 1081-2020标准基本信息

标准名称:半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

标准编号:T/CESA 1081—2020

英文标题:Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing - Wafer

国际标准分类号:13.020.01环境和环境保护综合

国民经济分类:C397 电子器件制造

发布日期:2020年06月20日

实施日期:2020年06月20日

起草人:李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘果果、黄明燕、赵丽华

起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气(中国)有限公司上海分公司

T/CESA 1081-2020预览图:

T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

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