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T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/ICMTIA PC007-2021标准基本信息

标准名称:集成电路用氢氟酸

标准编号:T/ICMTIA PC007—2021

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C266 专用化学产品制造

发布日期:2021年05月31日

实施日期:2021年07月30日

起草人:陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙

起草单位:中巨芯科技有限公司

T/ICMTIA PC007-2021预览图:

T/ICMTIA PC007-2021 集成电路用氢氟酸

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