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T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/ZZB 2283-2021标准基本信息

标准名称:半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

标准编号:T/ZZB 2283—2021

英文标题:Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal

国际标准分类号:29.050

中国标准分类号:Q53

国民经济分类:C309 石墨及其他非金属矿物制品制造

发布日期:2021年08月26日

实施日期:2021年09月26日

起草人:本文件主要起草人:杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙。

起草单位:本文件由浙江省标准化研究院牵头组织制定。本文件主要起草单位:中钢新型材料股份有限公司。本文件参与起草单位:冶金工业信息标准研究院。

T/ZZB 2283-2021预览图:

T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

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