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T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/CNIA 0011-2019标准基本信息

标准名称:气相沉积法碳化硅涂层

标准编号:T/CNIA 0011—2019

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期:2019年02月13日

实施日期:2019年06月01日

起草人:于伟华、王彬、田新、张春伟

起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司

T/CNIA 0011-2019预览图:

T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层

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