T/CIE 132-2022标准基本信息
标准名称：磁控溅射设备薄膜精度测试方
标准编号：T/CIE 132—2022
国际标准分类号：23.160
国民经济分类：I6520 集成电路设计
发布日期：2022年08月10日
实施日期：2022年08月10日
起草人：赵巍胜、张博宇、程厚义、Sylvain EIMER、彭守仲、许涌、Pierre VALLOBRA、王子路、姚宇暄、许人友、葛继尧、杜寅昌、杜鸿基、李殿浦、杨玉杰、王戈飞、刘宏喜、郭玮、何帆。
起草单位：北京航空航天大学、合肥致真精密设备有限公司、合肥致真智能装备有限公司、北京维开科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、致真存储(北京)科技有限公司、深圳亘存科技有限责任公司。
T/CIE 132-2022预览图：
