T/CIECCPA 007-2024标准基本信息
标准名称：半导体工业氮氧化物排放要求
标准编号：T/CIECCPA 007—2024
英文标题：Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements
国际标准分类号：13.040.40固定源排放限值
中国标准分类号：Z 05
国民经济分类：N772 环境治理业
发布日期：2024年03月04日
实施日期：2024年03月08日
起草人：李京波、王小周、张梦龙、刘黎明、张瀛、周礼誉、高嵩、杨荣博、钱昊、韩理想、袁松、王琨强、汪禹、邓向辉、阳志超、乔良、周阳、李双、王浩清、张坤
起草单位：浙江芯科半导体有限公司、杭州慧翔电液技术开发有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、大连华邦化学有限公司、东莞南方半导体科技有限公司、苏州艾特斯环保设备有限公司、上海协和环境设备有限公司
T/CIECCPA 007-2024预览图：
