当前位置:首页 > 实用文档 > 半导体制造用气体处理指南

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

下载格式:pdf资源分类:实用文档

半导体制造用气体处理指南(GB/T 34971-2017)

本标准规定了半导体制造用气体排放系统的原理及技术。本标准适用于半导体制造用气体的处理。

半导体制造用气体处理指南

声明:资源收集自用户分享或网络,仅为个人学习参考使用,如侵犯您的权益,请联系我们处理。

不能下载?报告错误