GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法

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氮化镓衬底片载流子浓度的测试拉曼光谱法（GB/T 36705-2018）

本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×1017 cm-3～1×1020 cm-3。