GB/T 38389-2019 氧化铟锡靶材化学分析方法

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氧化铟锡靶材化学分析方法（GB/T 38389-2019）

本标准规定了氧化铟锡靶材中铟、锡、铁、铝、硅、铜、铅、镉、镍、铬和铊含量的测定方法。本标准适用于氧化铟锡靶材中铟、锡、铁、铝、硅、铜、铅、镉、镍、铬和铊含量的测定。各分析项目、方法、测定范围见表1。