GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法

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硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法（GB/T 42263-2022）

此标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020 cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014 cm-3。注：硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。