GB/T 42158-2023 微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法（GB/T 42158-2023）

此标准描述了微米尺度沟槽结构和棱锥式针结构，并给出两种结构几何形状的测量示例。此标准中沟槽结构的深度为1 μm～100 μm、沟槽宽和沟槽间隔宽均为5 μm～150 μm、深宽比为0.006 7～20。棱锥式针结构具有三个或四个面，其高度、横向宽度和纵向宽度为2 μm或更大，并且外轮廓尺寸可包含于边长为100 μm的立方体内。此标准适用于MEMS结构设计和MEMS结构加工后的几何形状评估。