硅片表面光泽度的测试方法（GB/T 42789-2023）
此标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。此标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法
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硅片表面光泽度的测试方法（GB/T 42789-2023）
此标准描述了采用光反射法以20°、60°或85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。此标准适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
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