DB53/T 500-2013标准基本信息
标准名称：多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
标准号：DB53/T 500-2013
发布日期：2013-08-01
实施日期： 2013-10-01
制修订：制定
中国标准分类：G 10
国际标准分类：71.040.40
技术归口：云南省质量技术监督局
批准发布部门：云南省质量技术监督局
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
起草单位：昆明冶研新材料股份有限公司
起草人：赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。