GB/T 21287-2007标准基本信息
标准名称：电子工业用气体 三氟化氮
标准号：GB/T 21287-2007
发布日期：2007-12-14
实施日期：2008-07-01
中国标准分类：G86
国际标准分类：71 化工技术，71.100 化工产品，71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子工业用气体 三氟化氮》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院。
GB/T 21287-2007预览图：
