GB/T 26111-2023标准基本信息
标准名称：微机电系统（MEMS）技术 术语
标准号：GB/T 26111-2023
发布日期：2023-05-23
实施日期：2023-09-01
全部代替标准：GB/T 26111-2010
标准类别：基础
中国标准分类号：L59
国际标准分类号：31 电子学，31.080 半导体分立器件，31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司。
主要起草人 顾枫 、宋秀敏 、李根梓 、孙立宁 、张大成 、夏长奉 、夏善红 、董全林 、张卫平 、胡晓东 、刘会聪 、邢朝洋 、刘奎 、熊斌 、张永斌 、张威 、崔波 、陈得民 、王玮冰 、明志茂 、李晓波 、SHUMINZHANG 、张宾 、张胜兵 、杨飞 、高峰 。
GB/T 26111-2023预览图：
