标准名称：微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法
标准号：GB/T 44839-2024
发布日期：2024-10-26
实施日期：2025-02-01
标准类别：方法
中国标准分类号：L59
国际标准分类号：31 电子学，31.080 半导体分立器件，31.080.99 其他半导体分立器件
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门：国家标准委
国家标准《微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国科学院微电子研究所、中机生产力促进中心有限公司、苏州容启传感器科技有限公司、武汉大学、北京大学、上海交通大学、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、苏州晶方半导体科技股份有限公司、东南大学、苏州慧闻纳米科技有限公司、中关村光电产业协会、工业和信息化部电子第五研究所、昆山双桥传感器测控技术有限公司、芯联集成电路制造股份有限公司、深圳市道格特科技有限公司。
主要起草人 周维虎 、李根梓 、孙宏霖 、刘胜 、霍树春 、高成臣 、刘景全 、陈立国 、杨剑宏 、陈志文 、焦斌斌 、黄庆安 、聂萌 、张平平 、陈晓梅 、卢永红 、陈思 、王冰 、谢红梅 、刘志广 。
GB/T 44839-2024预览图：
