GB/T 14146-1993标准基本信息
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
标准号：GB/T 14146-1993
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
被代替日期：2010-06-01
中国标准分类：H21
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
上海市有色金属总公司。
GB/T 14146-1993预览图：
