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T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/ICMTIA 2-2019标准基本信息

标准名称:集成电路用过氧化氢

标准编号:T/ICMTIA 2—2019

英文标题:Hydrogen peroxide for Intergrated circuits

国际标准分类号:71.060.20氧化物

中国标准分类号:G 64

国民经济分类:C266 专用化学产品制造

发布日期:2019年04月17日

实施日期:2019年10月10日

起草人:刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平。

起草单位:苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司。

范围:本标准规定了集成电路用过氧化氢的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。

T/ICMTIA 2-2019预览图:

T/ICMTIA 2-2019 集成电路用过氧化氢

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