T/ZSA 72-2019标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶
标准编号：T/ZSA 72—2019
英文标题：Monocrystalline Silicon Carbide
国际标准分类号：29.045
中国标准分类号：H80/84
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2019年12月31日
实施日期：2020年03月01日
起草人：陆敏、彭同华、郑红军、陈鹏、刘祎晨、王文军、林健、闫果果、刘春俊、 何丽娟、钮应喜、彭燕。
起草单位：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院有限公司。
范围：本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。
T/ZSA 72-2019预览图：
