T/IAWBS 001-2021标准基本信息
标准名称:碳化硅单晶
标准编号:T/IAWBS 001—2021
国际标准分类号:29.045
国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期:2021年09月16日
实施日期:2021年09月23日
起草人:佘宗静、王大军、彭同华、王波、刘春俊、杨建
起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司。
范围:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。
T/IAWBS 001-2021预览图: