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T/IAWBS 001-2021 碳化硅单晶

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/IAWBS 001-2021标准基本信息

标准名称:碳化硅单晶

标准编号:T/IAWBS 001—2021

国际标准分类号:29.045

国民经济分类:C398 电子元件及电子专用材料制造

发布日期:2021年09月16日

实施日期:2021年09月23日

起草人:佘宗静、王大军、彭同华、王波、刘春俊、杨建

起草单位:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司。

范围:本文件规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED发光器件的外延衬底。

T/IAWBS 001-2021预览图:

T/IAWBS 001-2021 碳化硅单晶

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