GB/T 15909-2009标准基本信息
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准号：GB/T 15909-2009
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
被代替日期：2017-12-01
全部代替标准：GB/T 15909-1995
中国标准分类：G86
国际标准分类：71 化工技术，71.100 化工产品，71.100.20 工业气体
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《电子工业用气体 硅烷(SiH4)》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。
GB/T 15909-2009预览图：
