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GB/T 44849-2024 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

标准名称:微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法

标准号:GB/T 44849-2024

发布日期:2024-10-26

实施日期:2025-05-01

标准类别:方法

中国标准分类号:L59

国际标准分类号:31 电子学,31.080 半导体分立器件,31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准委

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位 合肥美的电冰箱有限公司、中机生产力促进中心有限公司、无锡华润上华科技有限公司、苏州大学、微纳感知(合肥)技术有限公司、宁波科联电子有限公司、西北工业大学、美的集团股份有限公司、深圳市美思先端电子有限公司、华东电子工程研究所(中国电子科技集团公司第三十八研究所)、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、北京晨晶电子有限公司、安徽北方微电子研究院集团有限公司。

主要起草人 曹诗亮 、李根梓 、马卓标 、胡永刚 、孙立宁 、许磊 、王雄伟 、王学文 、王春举 、钱峰 、张森 、武斌 、张红旗 、张启心 、汤一 、陈林 、王文婧 。

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GB/T 44849-2024 微机电系统(MEMS)技术 金属膜材料成形极限测量方法

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