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GB/T 44842-2024 微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法

下载格式:pdf标准分类:国家标准

标准名称:微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法

标准号:GB/T 44842-2024

发布日期:2024-10-26

实施日期:2024-10-26

标准类别:方法

中国标准分类号:L59

国际标准分类号:31 电子学,31.080 半导体分立器件,31.080.99 其他半导体分立器件

归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会

执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门:国家标准委

国家标准《微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法》由TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。

主要起草单位 工业和信息化部电子第五研究所、苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、成都航天凯特机电科技有限公司、苏州大学、无锡芯感智半导体有限公司、无锡华润上华科技有限公司、西北工业大学、华南理工大学、深圳市美思先端电子有限公司、天津大学、上海临港新片区跨境数据科技有限公司、苏州市标准化协会、安徽北方微电子研究院集团有限公司、广东润宇传感器股份有限公司、无锡韦感半导体有限公司。

主要起草人 董显山 、张硕 、夏燕 、李根梓 、蒋礼平 、路国光 、孙立宁 、来萍 、杨绍松 、夏长奉 、王科 、周长见 、宏宇 、胡晓东 、胡静 、张森 、韦覃如 、张启心 、黄钦文 、殷芳 、王文婧 、李树成 、赵成龙 。

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GB/T 44842-2024 微机电系统(MEMS)技术 薄膜材料的弯曲试验方法

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