GB/T 14139-2019标准基本信息
标准名称：硅外延片
标准号：GB/T 14139-2019
发布日期：2019-06-04
实施日期：2020-05-01
全部代替标准：GB/T 14139-2009
中国标准分类：H82
国际标准分类：29 电气工程，29.045 半导体材料
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
浙江金瑞泓科技股份有限公司、南京国盛电子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司。
GB/T 14139-2019预览图：
