GB/T 14142-2017标准基本信息
标准名称：硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
标准号：GB/T 14142-2017
发布日期：2017-09-29
实施日期：2018-04-01
全部代替标准：GB/T 14142-1993
中国标准分类：H25
国际标准分类：77 冶金，77.040 金属材料试验
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
南京国盛电子有研公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司。
GB/T 14142-2017预览图：
