GB/T 26069-2022标准基本信息
标准名称:硅单晶退火片
标准号:GB/T 26069-2022
发布日期:2022-03-09
实施日期:2022-10-01
全部代替标准:GB/T 26069-2010
中国标准分类:H82
国际标准分类:29 电气工程,29.045 半导体材料
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门:国家标准化管理委员会
国家标准《硅单晶退火片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
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GB/T 26069-2022预览图: